METROL ist Spezialist für Toolsetter und Präzisions-Positionierschalter - für die Automatisierung Ihrer Produktion

Ultra precision position Swhitches  Metrol

Hochvakuum-Schalter (GN)

Für Hochvakuum bis
10-5 Pa

Von großen Halbleiter-Herstellern eingesetzt zur Positionierung von Wafern und Masken in Vakuum-Aufdampfanlagen und in Sputtering-Anlagen.

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GN-PT5M3B
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Elektrische Spezifikation Optionen/Hinweise Technische Anleitung

Technische Eckdaten

Schalterstruktur Form des Kontaktpunkts
Ausgangsart B: normal geschlossen
Wiederholgenauigkeit ON → OFF/OFF → ON je 0,003 mm (Wert bei normaler Temperatur)
Vakuumgrad/Baking-Toleranztemperatur 10-5 Pa/120℃
Vorlaufweg keine (die Montageposition des Schalters wird mit dem Umschaltpunkt des Signals eingestellt)
Hysterese 0
Mechanische Lebensdauer 3 Mio. Schaltvorgänge
Hub 1,5 mm
Berührungskraft 0,5 N
Kontaktpunkt-Nennspannung DC 5 V – DC 24 V stabiler Strom bis 10 mA (Einschaltstrom unter 20 mA)

Anwendungen

Vakuumkammer

Feststellen des Vorhandenseins des Halbleiter-Wafers

Vakuum-Filmanlage

Positionierung des Glassubstrats

Vakuum-Anlage für Fotovoltaik

Positionierung des Glassubstrats

Vakuum-Filmanlage für FPD

Ausrichten des Glassubstrats

Vakuum-Filmanlage für FPD

Feststellen des Sitzes der Maske auf dem Schieber

Vakuum-Filmanlage für FPD

Nullstellung der Transportvorrichtung

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