METROL ist Spezialist für Toolsetter und Präzisions-Positionierschalter - für die Automatisierung Ihrer Produktion

Ultra precision position Swhitches  Metrol

Lösung für Fehlmeldungen von optischen Sensoren unter Hochvakuum

Bereich Halbleiter

Das Unternehmen konstruiert und stellt Produktionsanlagen her, unter anderem Hochvakuum-Aufdampfanlagen für die Produktion von Solarzellen.
Von einem für die Konstruktion des Sensorbereichs zuständigen Mitarbeiter wurden wir nach der Positionierung von Glassubstraten unter Hochvakuum gefragt.

Das Problem unseres Kunden

Zum Feststellen des Vorhandenseins der Glassubstrate in der Hochvakuum-Kammer wurden bisher optische Sensoren eingesetzt. Da das Sichtfenster jedoch beim Bedampfen eintrübt, kommt es häufig zu Fehlmessungen.
Außerdem verursacht die Herstellung des Sichtfensters an sich hohe Kosten, die ebenfalls ein Problem sind.

Es wurden auch Anfragen an große Hersteller von Sensoren gerichtet und hochfunktionale optische Sensoren getestet. Die Fehlmessungen konnten damit jedoch nicht beseitigt werden.

Der Kunde erfuhr bei einem Besuch unseres Standes auf einer Fachmesse zum Thema Vakuumtechnik von unseren Sensoren und fragte bei uns nach.

Das Problem

  • Unter Hochvakuum sollen Glassubstrate positioniert werden.
  • Wegen der Trübung des Sichtfensters beim Bedampfen kommt es zu Fehlmessungen des optischen Sensors.
  • Das Sichtfenster verursacht hohe Herstellungskosten..

Metrols Vorschlag

Die üblichen fotoelektrischen Sensoren stellen das Werkstück fest, indem sie einen Lichtstrahl aussenden, der reflektiert wird. Sie sind störanfällig gegen Einflüsse wie Trübungen, Wassertropfen, Reflexionen usw. und geben in solchen Fällen leicht falsche Signale.

Die meisten Ingenieure sind der Meinung, dass sich Sensoren nicht unter Hochvakuum einsetzen lassen.

Die für Hochvakuum geeigneten Schalter von Metrol verwenden keine elektrischen Leiterplatten und sind ausschließlich aus gering ausgasenden Teilen hergestellte Präzisions-Positionierschalter.
Sie sind für Hochvakuum bis 10^-5 Pa geeignet und erkennen Glassubstrate zuverlässig auch unter Hochvakuum.

Die Berührungskraft des Schalters beträgt weniger als 0,5 N und die Fühlerspitze ist aus einem speziell geeigneten Kunststoff hergestellt, so dass keine Gefahr besteht, dass die empfindlichen Glassubstrate beschädigt werden.

Ergebnis

  • Positionierung des Wafers unter Hochvakuum von 10^-5 Pa
  • Direkte Berührung des Wafers und daher keine Fehler
  • Das Sichtfenster entfällt, wodurch die Herstellungskosten erheblich gesenkt werden können.

Kommentar des zuständigen Ingenieurs

Da mit optischen Sensoren oder Fasersensoren der Signalpunkt nicht visuell zu erkennen ist, kann die Montage und das Einstellen bis zu 2 Tage in Anspruch nehmen.
Die Präzisions-Positionierschalter von Metrol arbeiten durch Berührung und ihr Signalpunkt ist visuell erkennbar. Deshalb kann ihre Position auch bei der Konstruktion im CAD bestimmt werden.

In der Halbleiterproduktion werden sie häufig auch in Sputter-Anlagen, OEL-Aufdampfanlangen, Ätzanlagen und weiteren Vakuumanlagen zur Positionierung eingesetzt.

Falls Sie Problemlösungen für die Positionierung und Feststellung unter Vakuum suchen, lassen Sie sich von uns beraten!

Wir stellen Ihnen gern Muster zur Beurteilung zur Verfügung.

Marketing-Abteilung/
verantwortlicher Mitarbeiter

Zu dem im Beispiel vorgestellten Produkt

Hochvakuum-Schalter (GN)

Lösung für Fehlmeldungen von optischen Sensoren unter Hochvakuum
Mechanische Präzisionsschalter, die auch für Hochvakuum bis 10^-5 Pa geeignet sind.

 

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