Hochvakuum- Schalter

GN- Serie

Berührungsschalter, die keine Ausgasungen abgeben, was in Vakuumumgebungen wie Vakuumkammern ein Problem darstellen kann.

Die GN-Serie wird ausschließlich aus ausgasungsfreien Komponenten gefertigt und ist für Mit Kabel bis zu 10⁻⁵ Pa (Pascal) geeignet. Die Herstellung erfolgt im Reinraum unter strenger Kontaminationskontrolle.
Zahlreiche Anwendungsgebiete umfassen Halbleiterproduktionslinien.

  • Hergestellt in Japan
  • Long-Selling
  • Kundenreduzierung
  • Ultrakompakt
  • Hochvakuumbeständigkeit /
    Niedriges Gas
  • Hitzebeständige Spezifikation

Warum Sie sich für uns entscheiden sollten

Berührungsschalter mit geringer Ausgasung, die mit Hochvakuumklassen kompatibel sind

Berührungsschalter mit geringer Ausgasung, die mit Hochvakuumklassen kompatibel sind

Da es vollständig aus Komponenten besteht, die keine Ausgasungen erzeugen, kann es in Hochvakuumumgebungen bis zu 10-5Pa eingesetzt werden.
Das Produkt wird von einer Reihe bedeutender Halbleiteranlagenhersteller zur Positionierung von Wafern und Masken in Vakuumverdampfungs- und Sputteranlagen eingesetzt.
– Maximale Temperatur von 120℃
– Es wird kein Fett oder Öl verwendet.

Kostengünstiger Sensor für den Einsatz in einer Vakuumumgebung

Kostengünstiger Sensor für den Einsatz in einer Vakuumumgebung

Vakuumkompatible Fasersensoren und Wegsensoren kosten über 2.000 US-Dollar pro Mit Kabel, inklusive Verstärker und Steckverbinder.
Die GN-Serie ist kostengünstig und ermöglicht es Ihnen, Kosten zu senken.

Umfangreiches Sortiment, das den Betriebsbedingungen gerecht wird

Umfangreiches Sortiment, das den Betriebsbedingungen gerecht wird

Es steht eine breite Palette an Ausführungen zur Verfügung, um verschiedenen Anwendungsbedingungen gerecht zu werden, wie z. B. gerader Berührungskontakt, rechtwinkliges Richtungskabel und Typ.

Material an die Betriebsumgebung

Material an die Betriebsumgebung

Die Vakuumumgebung jedes Kunden ist unterschiedlich.
Das Sensorgehäuse und das Kabelmaterial können an Ihre Umgebung angepasst werden.
Das Bild zeigt die Spezifikation für Phosphorbronze.

Kontaminationsabwehrmaßnahmen

Kontaminationsabwehrmaßnahmen

Die Fertigung erfolgt in einem Reinraum, der ausschließlich für die GN-Serie vorgesehen ist und von der regulären Produktionslinie getrennt ist, um eine strikte Vermeidung von Verunreinigungen zu gewährleisten.

Je nach Anwendung stehen folgende Anpassungsmöglichkeiten zur Verfügung.

Je nach Anwendung stehen folgende Anpassungsmöglichkeiten zur Verfügung.

– Kabel

Je nach Einsatzumgebung können wir die Materialien der Bauteile wie Kontaktsonden, Gehäuse, Kabel usw. individuell anpassen.

Was ist ein „Positionsschalter“, der im Vakuum keine Ausgasung erzeugt?

Produktlinie

Geeignet für Messungen mit schräger Berührung (Kugel- Typ)

PN Ausgangsmodus Wiederholgenauigkeit Äußere Hub IP-Code / Schutzstruktur LED Preis Herunterladen
GN-BP161B GN-BP161B B:NC 10 μm M16×1 2,9 mm IP40 ohne Kaufen auf
AutomationDirect
GN-BP5MA GN-BP5MA A: Nein 10 μm M5×0,5 0,8 mm IP40 ohne Kaufen auf
AutomationDirect
GN-BP5MA-R GN-BP5MA-R A: Nein 10 μm M5×0,5 0,8 mm IP40 ohne Kaufen auf
AutomationDirect

Für die direkte Touch-Anwendung

PN Ausgangsmodus Wiederholgenauigkeit Äußere Hub IP-Code / Schutzstruktur LED Preis Herunterladen
GN-CSK141B GN-CSK141B B:NC 10 μm M14×0,5 5 mm IP40 ohne Kaufen auf
AutomationDirect
GN-PT5M3A GN-PT5M3A A: Nein 3 μm M5×0,5 1,5 mm IP40 ohne Bei VONA kaufen Kaufen auf
AutomationDirect
GN-PT5M3A-R GN-PT5M3A-R A: Nein 3 μm M5×0,5 1,5 mm IP40 ohne Bei VONA kaufen
GN-PT5M3B GN-PT5M3B B:NC 3 μm M5×0,5 1,5 mm IP40 ohne Bei VONA kaufen Kaufen auf
AutomationDirect
GN-PT5M3B-R GN-PT5M3B-R B:NC 3 μm M5×0,5 1,5 mm IP40 ohne Bei VONA kaufen

Hauptspezifikationen

Wiederholgenauigkeit 3 μm / 10 μm (Bereich)
Kontaktkraft 0,5N - 1,5N
Außendurchmesser 5 - 16 mm
Gesamtlänge 18 - 47 mm
Wie man die Objekte berührt frontale Berührung / schräge Berührung / gleitende Berührung
Hub 1,0 - 5
Schutzaufbau IP40
Umgebungstemperaturbereich 0 - 120℃
Schalter Trockenkontakt
Ausgangsmodus A: Nein / B: Nicht zutreffend
Vorlauf 0 - 0,3mm
Schaltdifferenz 0
Kontakt 3 Millionen
Kontakt A (NO):PEEK / B (NC):SUS HRC45
Gehäusematerial SUS304
Kabel PTFE-Kernkabel, 0,5 m (×2), ölbeständig, ⌀ 0,66 mm, Zugfestigkeit 15 N (Äquivalent AWG 27).
Temperaturdrift 0 (weil kein Verstärker vorhanden ist)
Schwingung 10–55 Hz, Gesamtamplitude 1,5 für X, Y und Z in jeder Richtung
Stoßfestigkeit 300 m² für X, Y, Z in jeder Richtung
Kontaktbelastbarkeit DC5V - DC24V Dauerstrom: 10 mA oder weniger (Anlaufstrom: 20 mA oder weniger)
Standardzubehör 2 Befestigungsmuttern
Zulässiger Vakuumbereich 10 - 5 Pa
Zulässige Backtemperatur 120 ℃
Notiz: Eine Betriebsgeschwindigkeit von weniger als 10 mm/min wird NICHT empfohlen.

Anwendungsbeispiele

Photovoltaik (PV) Vakuumausrüstung

Photovoltaik (PV) Vakuumausrüstung

Photovoltaik (PV) Vakuumausrüstung
Positionierung des Glassubstrat

Vakuum für FPD

Vakuum für FPD

Erkennung der Maske

Vakuum

Vakuum

Anwesenheits-/Abwesenheitserkennung von Halbleiterwafern

Vakuum für FPD

Vakuum für FPD

Ausrichtung des Glassubstrat

Vakuum für FPD

Vakuum für FPD

Ursprungs-Spedition

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